1、等离子体是继固态、液态、气态之后的第四态，采用脉冲高频高压等离子体电源，利用双介质齿板放电装置，以尖端放电形式产生等离子体；等离子体能够在毫秒级的时间内，把空气和废气分子击穿，发生一系列分化裂解反应，产生高浓度、高强度、高能量的各种活性自由基、电子、离子、臭氧、原子氧、生态氧等混合气体而再进行一系列更加复杂的物理和化学反应；活性自由基可以有效地破坏各种病毒、细菌中的核酸、蛋白质，使其不能进行正常的代谢和生物合成，从而致其死亡；而生态氧能迅速将有机废气分子异味气体分解或还原为低分子无害物质；另外，借助等离子物体的聚合吸附作用，可以对小至亚微米级的细微有机废气颗粒物进行有效的吸附沉降处理。
2、放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。子
3、基本过程：
过程一：高能电子的直接轰击
过程二：O原子或臭氧的氧化O2+e→2O
过程三：OH自由基的氧化H2O+e→OH+H、H2O+O→2HO、H+O2→OH+O
过程四：分子碎片+氧气的反应
4、利用特制的TiO2光触媒氧化氢化过滤棉，持续地对等离子体未处理干净的废气染污物以及臭氧、生态氧、活性自由基等物质进行氧化氢化反应，使得废气污染物等有害气体经过多级净化后最终达标排放。