产品属性
上海艾铿电炉设备有限公司
“因为专注、所以专业” 厂家直销
我司可定制各种非标炉，不同炉膛尺寸、不同温度范围内的真空炉、气氛炉等。
总 机：
销售热线：
管式炉
炉管尺寸：外径Φ60×1000mm,Φ80×1000mm,Φ100×1000mm
极限温度：1700 ℃
工作温度：800 -1700 ℃
温度控制器：PID自动控制 晶闸管（可控硅）输出功率， 30段可编程控制器
最快升降温速率：
400℃以下≤10℃/min，1400℃到1600℃≤5℃/min
温区数：可根据客户要求设计（单、双、三、四、五温区）
加热区：360mm
恒温区：150mm
温度精度：±1 ℃
电源：单相220V,交流50Hz
多通道流量计控制系统
标准量程：100，200 ，500，1000SCCM； （以氮气标定，除以上标准外量程可选）
准确度：±1.5%
线性：±0.5～1.5%F.S.
重复精度：±0.2%F.S.
响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围：0.1～0.5 MPa
最大压力：3MPa
接头类型：Φ6,1/4''双卡套不锈钢接头
显示：4位数字显示
高真空系统
机械泵抽气速率：4L/S容油量：1.1L电机功率：400W极限压强：6×10-2Pa分子泵抽气速率：100L/S极限压强：6×10-6Pa启动时间：＜2min额定转速：4300转/分冷却方式：环境温度5-32℃时，风冷；5-40℃时，水冷。分子泵控制器电压：220V±22V启动电流：≤7A输入频率：47HZ—63HZ最大输出功率：≤150W最大加速电压：≤40V加速时间：≤3min频率（双速）：高速705HZ±10HZ 低速430HZ±5HZ复合真空计测量路数：2路（电阻规、电离规各1路）工作模式：手动/自动
电阻规测量范围：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa有效范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa控制范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa电离规可测范围：5.0Pa~1.0×10-5Pa有效范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa控制范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa规管除气方式：焦耳去气
射频电源与匹配器
电源：单相50/60Hz 220v±10%
加热（功率）电源：2.5KW，25A
控制柜电源空气开关：32A空气开关
薄膜生长室温度：室温~ 1200℃
射频频率：13.56MHz
射频功率输出范围：5~500W
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