143 ICP等离子体反应器中控制硅槽和二氧化硅厚度的方法
[摘要] 本发明涉及一种ICP等离子体反应器中控制硅槽和二氧化硅厚度的方法，将半导体晶圆上的多晶硅栅极进行光阻去除处理后放置于感应耦合等离子体反应器中、在没有加载射频偏压电源的条件下注入活性蚀刻气体对半导体晶圆进行各向同性蚀刻形成硅槽、然后在加载射频偏压电源的条件下注入氧气等离子体在半导体晶圆表面形成二氧化硅保护层。采用该种ICP等离子体反应器控制硅槽深度和二氧化硅保护厚度的方法，实现了独立有效地控制硅槽深度和二氧化硅层的厚度，提高了半导体器件的电特性，成品率高，工作性能稳定可靠，制造成本较低；能够广泛应用于0.13μm工艺处理中，应用范围广泛，为半导体制造工艺的进一步发展奠定了坚实的基础。

267 硫化氢催化氧化反应器
[摘要] 本实用新型公开了一种硫化氢催化氧化反应器，包括气体进口、进口气体分布器、反应器本体、第一级催化剂装填组、第一级催化剂装填组上端丝网、第一级催化剂装填组下端丝网、第二级催化剂装填组、第二级催化剂装填组上端丝网、第二级催化剂装填组下端丝网、气体出口和气体收集器，该反应器还包括激冷线进口、激冷线气体进口分布器；利用在两级催化剂装填组之间的激冷线喷入的温度较低的再生气体，调节进入第二级催化剂装填组的气体温度，以保硫化氢氧化反应的正常进行；适用于处理低浓度硫化氢等气体，硫的回收率高，副产品的纯度高；操作简单，可进一步实现工业自动化；结构简单，安装方便，能广泛应用于在煤化行业派出的硫化氢气体的治理。

017 用于减少燃烧气体中氧化氮和氧化硫含量的反应器
[摘要] 用于减少燃烧气体中氧化氮和氧化硫含量的反应器，具有一后燃烧室，它包括一壳体，由筒状管壳和带有一出口的圆顶状出口部分构成。围绕着壳体有一隔热墙，它相对于壳体偏心设置。壳体装有一锥形隔板，锥形尖顶朝着出口。管壳和隔板之间有一间隙（１７）。管壳进口端有一进口漏斗。还设有一用于预热二次空气的预热器，二次空气通过一个二次空气进气口供入壳体和隔热墙之间的间隙（２１）内。在底部，间隙（２１）同一收集箱和一出口管道相通。

249 强制推流式好氧反应器
[摘要] 本实用新型公开了一种强制推流式好氧反应器，包括有发酵池，发酵池的上部设有进料口和出料口，进料口附近安装有机械推流装置，发酵池中设有纵向分割的挡板，挡板的下端与发酵池之间设有间隙，机械推流装置可以是水泵或推流器或射流器。

020 新型的固体多组分膜、电化学反应器以及用膜和反应器进行氧化反应
[摘要] 本发明描述由紧密的、不透气的多相混合物组成的固体膜，多相混合物含有一种电子导电材料，一种氧离子导电材料和／或一种钙钛矿结构的混合金属氧化物。本发明还描述电化学反应器电池和反应器，它可用于使氧从含氧气体迁移到耗氧气体。该反应器电池通常包括用该固体膜分隔的第一和第二区域。该反应器电池还包括在第一区域中的一种催化剂。用本发明反应器电池和反应器进行的工艺包括：如甲烷部分氧化生产不饱和化合物或合成气，乙烷的部分氧化，从氧化的气体中提取氧气，甲烷的氨氧化等。从氧化的气体中提取氧的工艺可用于燃料或废气的净化。

246 一种厌氧污泥床反应器
066 氢和一氧化碳富气的制备方法及其反应器
067 带有傅立叶变换红外分光计的用于和控制氨氧化反应器的装置和方法
250 原位高效电催化过氧化氢的电化学反应器
306 一种双循环生物膜厌氧氨氧化反应器
041 补充反应器氧的直接注入稳态涡流系统
229 厌氧好氧一体化高密度生物填料反应器
013 将氧气与反应物流一起注入流化床反应器的方法和装置
220 用于以含氧化合物为原料生产丙烯的管式移动床反应器
035 联合固体氧化物燃料电池和离子传递反应器的方法
153 蓄热式热氧化反应器和低浓度有机废气的净化处理工艺
323 高浓度有机废水厌氧反应器辅助配水混合器
344 一种高效厌氧反应器
227 厌氧生物反应器的气压式自动排泥装置
186 将含氧化合物转化成含烯烃产品的方法和反应器系统
305 一种再生氮氧化物络合吸收剂的三维电极生物膜反应器
195 饮用水活性炭工艺出水紫外线二氧化钛消毒反应器
321 一种氨氧化反应中流化床反应器的分布板
214 厌氧-序批式膜生物反应器-人工湿地处理猪场废水的方法
283 混合污泥床厌氧反应器
320 上流式厌氧污泥床反应器
294 一种带有急冷段的列管式环氧乙烷反应器
036 用于使耗氧气体与含氧气体反应的电化学反应器
144 用于焦炉粗煤气混合重整制氢工艺中的透氧膜反应器
237 上流式厌氧、好氧一体化反应器
285 用于废水处理的无氧催化反应器
293 车、船用氢氧源燃料反应器
025 流化床催化氧化反应器的气体分布装置
173 在具有喷射器的环流反应器中使用DMC催化剂进行烷氧基化的方法
140 水解好氧生物处理废水的一体化反应器
343 一种用于制备聚氧醚的喷射环流反应器
011 环流反应器生产聚环氧乙烷的工艺过程
212 在线清洗厌氧微网反应器
251 多旋流自适应多循环厌氧反应器
049 催化汽相氧化方法及管壳式反应器
098 采用无泡供氧技术的固定床湿式催化氧化反应器
034 从含尿素水溶液的液相中脱除尿素、氨和二氧化碳的水解反应器
226 电增强内置厌氧零价铁反应器
196 一种新型的处理有毒挥发性有机物的好氧颗粒污泥反应器的工艺和装置
199 聚二甲基硅氧烷-纳米金复合物的微酶反应器
188 一种厌氧反应器的三相分离器
218 多相电催化氧化-Fenton耦合法降解硝基苯类废水的方法及其反应器
127 给水解吸除氧装置的电热反应器
167 处理高浓度印染废水的厌氧生物反应器及其方法
210 高负荷厌氧反应器回流进液装置
307 一种气升式膨胀床厌氧生物反应器
157 倒向折流式好氧颗粒污泥反应器
152 多阶段内循环厌氧反应器
354 双路循环全混式厌氧反应器
340 风冷模块式冷热水机组在中温厌氧反应器加热中的应用装置
202 双循环生物膜厌氧氨氧化反应器
342 一种隔板式厌氧反应器
297 一种基于有机废弃物固体发酵产沼气的卧式厌氧反应器
163 一种基深度氧化反应器
349 造粒炭黑臭氧氧化锥形流化床反应器
028 甲烷氧化偶联催化径向固定床反应器
222 一种超高效厌氧氨氧化反应器
156 双循环厌氧反应器
272 内循环好氧生物氧化反应器
217 交替式两级好氧膜生物反应器
164 一种光催化氧化联合膜生物反应器处理二甲基亚砜废水的工艺
241 臭氧生物反应器
007 烯烃氧化反应模拟反应器
201 厌氧无纺布薄膜生物反应器及废水处理方法
315 一种防止反应器氧化脱皮的保护装置
312 斜板式二氧化氯反应器
289 半全混气搅拌中温厌氧反应器
277 过滤出水厌氧反应器
038 使耗氧气体和含氧气体反应的电化学反应器电池
106 海洋生化需氧量现场快速测量仪生物反应器
259 污水好氧 缺氧处理反应器
082 接触气相氧化用反应器以及使用其的丙烯酸制造方法
337 一种阶梯式厌好氧一体化反应器
100 两相一体化多层次内循环厌氧生物反应器
338 一体化有机污泥高温微好氧卧式消化反应器
284 四氯化钛氧化反应器
280 膜-厌氧氨氧化生物反应器
181 一种用于黄连素制药废水处理的连续流好氧颗粒污泥膜生物反应器
148 用于难浸硫化金矿生物氧化的反应器
244 厌氧折流复合反应器
341 一种隔板式好氧反应器
074 利用鼓泡塔氧化反应器生产芳香酸的方法
279 一种厌氧反应器布水器
044 用氧化氮减少聚丙烯接枝共聚反应过程中反应器结垢
075 对二甲苯氧化反应器操作条件的优化方法
054 压力式膜过滤排水厌氧反应器
114 结合型上流式厌氧污泥床反应器
291 地源热泵厌氧反应器增温装置
205 一种以蠕动为周期刺激动力源的好氧固态发酵反应器
334 一种厌氧水解-好氧-沉降分离一体化的废水处理反应器
056 垂直折流生化反应器污水厌氧处理工艺
103 自循环接触流厌氧反应器
298 缺氧 好氧一体式气升循环生物反应器
126 氯化法钛白高速气流喷粒除疤氧化反应器
347 厌氧发酵反应器
091 使用固定床反应器的气相催化氧化的方法
282 一体化内循环厌氧污泥反应器
026 一种用于降低燃烧过程中硫氧化物排放的反应器和方法
120 一种高效厌氧混合反应器
159 一种TAIC高效厌氧反应器
107 膜泥法厌氧反应器
008 一种透氧膜催化反应器及低碳烃部分氧化制合成气的方法
236 上流式厌氧氨氧化生物膜反应器
238 旋流自驱动传质厌氧反应器
348 一种搅拌供氧生物反应器
004 一种芳烷基氧化生产芳香羧酸的方法和氧化反应器
179 一种用于污水厌氧生化反应器的三相分离器
145 在流体反应介质中对物质进行缺氧处理的反应器和方法
248 液相氧化羰化合成碳酸二甲酯专用内循环反应器
077 一种污泥好氧堆肥反应器
358 一种新型上流式厌氧颗粒污泥床反应器
133 高效厌氧生物过滤反应器
207 处理高浓度化工污水厌氧反应器
223 一种利用光催化氧化膜混凝反应器处理造纸废水的方法
235 湿式连续单级厌氧发酵反应器
316 一种顶置曝气池的升流式厌氧污泥床反应器
072 工业化生产建造厌氧生物反应器的工艺
203 一种厌氧-缺氧-低氧一体化反应器及其应用
329 一种合成胡椒醛臭氧化反应器
318 一种弧形导流板厌氧 限氧半循环污泥减量反应器
015 用蒸汽流化反应器生产α型氧化铝的方法
239 膨胀颗粒污泥床有机废水厌氧反应器
055 垂直折流生化反应器污水厌氧－好氧－厌氧串联处理工艺
012 由低碳烃制合成气的方法及无机致密透氧膜反应器
275 一种处理有机废水的环流式好氧生物反应器
033 烃类氨氧化流化床反应器
078 多段厌氧水解生化反应器
002 一种混合导体透氧膜反应器及其应用
001 闭循环填料塔反应器制环氧乙烷与环氧丙烷聚合物
170 厌氧 缺氧-好氧序批式反应器内培养颗粒污泥的方法
110 复合式环流氧化反应器
356 催化氧化反应器
099 一种耐腐蚀防堵塞的超临界水氧化反应器
309 改进型膨胀颗粒污泥床厌氧反应器
211 一种厌氧膨胀颗粒污泥床反应器及其用途
243 上流式厌氧污泥床反应器
266 一种污泥交替好氧厌氧堆肥反应器
247 厌氧微生物固定反应器
162 城市生物质垃圾两相厌氧消化产酸相反应器
053 带有初反应器的二氧化氯发生器
005 以固体颗粒装填的反应器和采用该反应器的气相催化氧化
206 一种用于白酒酿造的蠕动式厌氧固态发酵反应器
180 废弃石膏和二氧化碳生产硫酸的工艺方法及其实施膜耦合反应器
043 液相氧化羰化合成碳酸二甲酯的多管循环反应器
031 乙烯在两级固定床反应器中的氧氯化反应
122 污水厌氧新型反应器
274 用于反应器式生化需氧量快速测定仪的恒温反应器
262 一种改进型一氧化碳氟化反应器
209 新型的厌氧膜生物反应器
252 催化电氧化反应器
151 序批式反应器无厌氧段生物除磷的运行方法
301 一种折流式厌氧反应器
018 环氧乙烷反应器的启动方法
281 复合式新型高效甲醛氧化反应器
313 厌氧反应器用低能高效循环装置
141 一种高密度二氧化碳杀菌处理反应器
178 用于从包括含氧化合物、水蒸气和一种或多种烃的物料流生产C2-至C8-烯烃的反应器
308 四效多级深度废水氧化反应器
258 厌氧多级内循环反应器
130 好氧相分离式流化反应器
006 一种利用甲醇制取一氧化碳和氢气的方法及其所用反应器
080 螺旋推流滚筒式厌氧反应器
150 序批式反应器的单级好氧生物脱氮运行方法
129 一种用于制备氢氧化铝的新型反应器
090 沼气型厌氧好氧一体生化反应器
016 含一氧化碳、二氧化碳和氢的合成气的催化甲烷化方法和甲烷化反应器
048 利用复合的气包液和液包气分散反应器生产氧化烯加聚物的装置
050 含有氧离子传导致密陶瓷膜的自热反应器和使用自热反应器生产合成气的方法
271 脱除烟道气中二氧化碳的超重吸收反应器
061 丙烷无氧脱氢芳构化反应用无机膜反应器
253 液体浮动盖序批间歇式厌氧反应器
165 一种自混合厌氧反应器
009 好氧－缺氧气浮分离生物流化复合反应器
268 滚动卧式微电解催化氧化反应器
158 分级膜氧化反应器系统
154 在微反应器中通过加氢自动氧化生产过氧化氢
310 双路循环式厌氧反应器
346 一种新型氧化反应器
052 采用连续连接的固定床反应器级联的环氧化方法
024 用于烯烃氧化的圈管反应器
254 一种厌氧生物反应器
197 用于气相氧化反应的中空纤维膜反应器及其制备和应用
132 用于卤代芳烃氨氧化的反应器
079 一种生产芳香酸用分区式鼓泡塔氧化反应器
355 四相多级氧化反应器
027 臭氧反应器过程控制
093 通过固体氢过氧化物中间体制备有机过氧化物的反应器
357 复合型好氧反应器
032 向泡罩塔反应器内注入氧气
270 负载纳米二氧化钛的弥散光纤光催化废水处理反应器
174 在微通道反应器中制备环氧乙烷的方法
010 一氧化碳变换工艺及反应器
176 多级好氧缺氧耦合生物反应器及污水处理方法
231 复合厌氧反应器
191 一种微生物附着膜型沼气发酵厌氧反应器及其应用
215 双路循环全混式厌氧反应器
256 厌氧好氧一体式固定床生物膜反应器
116 双筒式厌氧反应器
339 气相二氧化硅生产工艺燃烧反应器
359 一种新型厌氧折流板反应器
040 在丙烯腈反应器中加入氧以降低惰性物
204 一种适用于甜高粱杆固态厌氧发酵乙醇丁醇的反应器
330 厌氧反应器
085 膜生物反应器-臭氧联合工艺生产再生水的方法
324 高效高浓度有机废水厌氧反应器的螺旋式布水器
177 适用于二氧化硫气体浸出软锰矿的反应器
327 顶返水压式厌氧反应器
245 内循环厌氧反应器回流管防堵装置
068 将碎浆料输送至臭氧反应器的方法和系统
278 合成氢氧化镁的连续反应器
047 烃氧化后除去催化剂的方法和反应器装置
113 新型内循环厌氧反应器
296 一种沼气工程专用厌氧反应器搅拌装置
193 一种臭氧氧化与生物膜组合一体式反应器及其使用方法
111 拼装式厌氧生物反应器
311 一种无动力内外循环厌氧反应器
264 氯醇法环氧丙烷管式氯气速溶反应器
325 一种两相一体式厌氧消化反应器
171 在具有提高热控制系统的固定床催化部分氧化反应器中制备不饱和酸的方法
102 氮氧化物废气处理反应器
029 用移动床反应器由氧化铝的碳氮共渗连续制备氮化铝方法
189 电解-生物厌氧反应器及其工艺
190 一种处理低温污水的好氧颗粒污泥反应器及其水处理方法
094 膜载体无泡供氧生物膜反应器及处理有机废水方法
045 利用气相分散反应器生产氧化烯加聚物的方法
131 自携氧式多生物量生物反应器
333 厌氧好氧一体化水处理生物反应器
125 化学耗氧量反应器
242 复合式厌氧生物废水处理反应器
187 在废水处理生物反应器区室中提供需氧介质的方法及相关系统
071 对二甲苯液相氧化反应器中反应温度的智能控制方法
124 厌氧反应器中装配式气、液、固三相分离器
352 沼气升流式厌氧固体反应器进料装置
228 培养好氧颗粒污泥的装置及其专用反应器
192 厌氧循环颗粒悬浮床反应器及同步去碳和脱氮方法
169 一体式厌氧动态膜生物反应器及其运行方式
149 包含用于可燃气体残余物后处理的氧离子泵的电化学反应器
224 一种生物预氧化反应器
023 降低合成吖嗪反应器中的二氧化碳含量的方法
021 冷流式催化氧化反应器及其工艺
138 一氧化碳加氢低温液相合成反应器
063 一种常压微波放电反应器及其在氮氧化合物脱除中的应用
069 用于氧气注入流化床反应器的分布器
288 用于醋酸甲酯与一氧化碳液相羰基醋酐反应过程的高效气液副反应器
135 超临界水氧化废水处理中的反应器
276 垂直折流板厌氧反应器
182 采用转鼓式反应器生物浸出含砷金矿的预氧化处理方法
083 一种生产多元羧酸的氧化反应器
046 烃类选择氧化的管状催化膜反应器
137 厌氧好氧法同时处理有机废水反应器
172 好氧颗粒污泥泥层过滤反应器
118 带加速浓缩与氧化结构的聚铁反应器
216 一种反应器耦合模拟移动床乙氧基喹啉清洁生产工艺
121 旋流式浮腾厌氧反应器
070 多层反应器和它的用途以及制备过氧化氢的方法
037 自携氧式多生物量生物反应器
062 气相催化氧化反应器
161 氧化反应器和氧化方法
097 一种垃圾渗滤液好氧厌氧循环处理流化床反应器
319 一种好氧流化床—生物滤池耦合反应器
076 制备环氧乙烷的反应器系统和方法
194 一种用于高纯无机氧化物制备的热解反应器
232 变速升流式厌氧水解反应器
088 利用混合导体透氧膜反应器的焦炉煤气制氢系统装置
117 组合式厌氧反应器
328 太阳能厌氧颗粒污泥循环式反应器
240 强氧化内电解反应器
160 一种气升式内循环间歇好氧颗粒污泥反应器及其水处理方法
351 一种内循环好氧生物反应器
051 氯化钛白氧化反应器
300 用于生产二氧化氯的负压反应器
112 一种厌氧膜生物反应器
042 用于流化床或移动床反应器的氨氧化催化剂的制备方法
147 氯化法钛白氧化反应器
303 厌氧隔板反应器
353 沼气升流式厌氧固体反应器进料装置中的分配筒结构
273 一种厌氧氨氧化反应器
146 一种新型高密度二氧化碳杀菌反应器
108 一氧化碳氟化反应器
086 上流式厌氧污泥床反应器快速培养厌氧氨氧化菌的方法
255 厌氧折流板反应器
155 内循环厌氧膜生物反应器污水处理装置
064 蒽醌化合物在特殊反应器中悬浮氢化制备过氧化氢的方法
168 一种双通道自循环厌氧生物反应器
261 多管式光催化氧化水处理反应器
030 通过有选择地氧化氢使烃被催化脱氢的反应器
213 旋流布水旋液分离内循环厌氧反应器
003 一种膜反应器用甲烷部分氧化制合成气反应的催化剂
263 一种用于环氧乙烷制备的列管式固定床反应器
290 HE-IC厌氧反应器
221 一种用于烃类氧化反应-分离耦合过程的膜反应器
225 电场强化两相厌氧反应器
292 恒温厌氧反应器
136 炉法造粒炭黑表面氧化流化床反应器
230 一种厌氧反应器
060 催化气相氧化反应器
345 一种复合式沼气厌氧反应器
039 和反应物流一起向流化床反应器直接注氧的方法和设备
326 一种模块化厌氧生物反应器
128 一种氧氯化反应器内盘管新型定位环
332 一种厌氧生化反应器
104 光催化氧化反应器
119 一种高效好氧混合反应器
109 厌氧反应器和气柜一体装置
350 臭氧光催化污水治理反应器
092 厌氧-好氧两段膜生物反应器处理城市污水的方法
166 具有内部次级反应器的氧化系统
175 通过在主反应器和次反应器中气相氧化邻二甲苯生产邻苯二甲酸酐
295 双通道自循环厌氧生物反应器
331 自循环厌氧反应器
123 甲烷氧化偶联反应用薄层床催化反应器
089 三隔室浸没式厌氧膜生物反应器
198 臭氧耦合ASBR SBR控氮磷污泥减量化水处理的方法和反应器
022 固体多组分膜、电化学反应器元件、电化学反应器和膜、反应器元件以及反应器在氧化反应中的使用
269 厌氧污泥床反应器
299 一种曝气-沉淀一体式好氧反应器
115 用于乙氧基化反应的外循环气液反应器
265 金属有机化学气相沉积大面积氧化锌透明导电膜反应器
317 一种厌氧反应器
200 一种高效电催化原位过氧化氢的电化学反应器
287 厌氧与铁床耦合污水处理反应器
234 一种用于制备氢氧化铝的反应器
014 一种部分氧化反应器除渣的方法
134 汽、柴油车阻控磁幅氢氧源反应器
185 基于脉动气压作用的厌氧消化反应器物料搅拌与破渣方法
322 固定化颗粒污泥好氧反应器
065 板翅式内部移热SO2氧化固定床反应器
184 一种基于铁基复合氧化物去除水中砷的反应器
142 一种好氧堆肥反应器
087 在固定床催化部分氧化反应器中高效率制备不饱和酸的方法
139 蛇型化学耗氧量反应器
286 一种光催化氧化与生物降解一体化的气升式内循环反应器
183 二氧化钛纳米管阵列电极光电催化薄层反应器及其应用
314 厌氧反应器布水装置
335 电解-生物厌氧反应器
219 在存在固体催化剂时使流体供给流与流体氧化剂流发生反应的水平式反应器
084 带挡板的反应器中的含氧化合物至烯烃转化
336 一种大型湿式空气氧化反应器
304 连续式三相流化臭氧氧化反应器
081 一种生活垃圾渗滤液厌氧处理的方法及其反应器
059 垂直折流生化反应器污水厌氧－好氧串联处理工艺
019 用于提高现有反应器中一氧化碳转化率的系统及如此获得的反应器
058 包括上流无氧反应器的废水处理设备以及一种使用该设备的废水处理方法
101 复相流光放电氧化液相溶质反应器
095 甲醛氧化反应器
208 气升式膨胀床厌氧生物反应器
057 垂直折流生化反应器污水好氧处理工艺
260 流化床光催化氧化水处理反应器
096 甲醛氧化反应器
073 用于流化床烃部分氧化反应器的分布器结构
105 内循环厌氧膨胀床 流化床反应器
257 内循环厌氧反应器
233 二氧化氯发生器用高温反应器
302 依靠水流方向改变污泥床负荷的厌氧隔板反应器

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