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KSZY-S16扩散炉专用恒温槽5大特点如下：
◆采用高精度动态恒温控制技术和SMT装配技术，最佳恒温波动度达±0.05℃，专门为半导体扩散炉配套。
◆ 提供单个源瓶、两个源瓶、和四个源瓶的结构形式，适合不同的应用需求。
◆ 将源瓶与水介质彻底隔离的铁氟龙隔离套，将任何泄漏事故引起的危险降低到最低程度。
◆ 采用全封闭磁力泵循环搅拌，温场均匀，绝无泄漏。通过将传感器与循环泵液流的一体化设计，大大提高控温精度和温场均匀性。
◆ 液槽内胆、瓶源隔离套、电热器和蒸发器等可能与工作介质接触的部件采用不锈钢材料，其中瓶源隔离套内壁经铁氟龙处理，专门解决扩散炉应用问题。
KSZY-S16扩散炉专用恒温槽技术参数：
型号 | Kszy-S12
Kszy -S16 | Kszy-D10
Kszy-D12
Kszy-D16 | Kszy -T10
Kszy -T12 |
温度范围(℃) | +5~60(环境温度≤40℃)、+15~+40(环境温度≤60℃) |
温度波动(±K) | ±0.05~0.1(环境温度≤40℃)、±0.1~0.2(环境温度≤60℃) |
显示分辨(℃) | 0.1 |
加热功率(W) | 600 | 600 | 600/1000 |
制冷量(W) | 250 | 300 | 350 |
内胆尺寸(mm) | 240*145D*220H(-S12)
235*160D*250H(-S16) | 240W*120D*195H(-D10)
240W*145D*220H(-D12)
335W*160D*250H(-D16) | 240W*240D*195H(-Q10)
240W*285D*220H(-Q12) |
源瓶尺寸(mm) | 100D*148H(-X10) 120D*168H(-X12) 160D*198H(-X16) |
源瓶隔离套 | 1个/不锈钢,内壁防腐处理 | 2个/不锈钢,内壁防腐处理 | 4个/不锈钢,内壁防腐处理 |
外形尺寸(mm) | 300W*475D*300H(-S12)
300W*475D*320H(-S16) | 300W*450D*275H(-D10)
345W*475D*300H(-D12)
375W*475D*320H(-D16) | 375W*570D*300H(-Q10)345W*615D*300H(-Q12) |
压缩机(W) | 150 |
制冷剂 | R134 a |
内胆材料 | 304不锈钢，提供316L不锈钢或钛材的定制 |
外壳材料 | 优质冷轧钢板静电喷涂 |
工作方式 | 连续 |
辅助功能 | 数显温度校正，传感器异常保护和报警，高温保护和低温报警，停电恢复，防干烧 |
电源 | 220V/50Hz |
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