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低膨胀 石英 MEMS 汽车加速计 微反射镜 3寸 厚度0.1-15mm

起批量
110

产品属性

玻璃晶圆:

本公司引进先进的激光仪器、超声波仪器、雕刻和磨削机器等先进设备,同时拥有资深级的技术人员,能为客户提供厚度≧0.1mm,外形尺寸≧Φ2"的高精密度玻璃晶圆(Glass wafer),应用于CMOS、CCD传感器、集成电路或微机械元件封装(MEMS)、通信与数据处理、光学、电子产品、家电产品、军工、科研等高科技产品。

 

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产品特点:

1.超薄玻璃晶圆

2.特种玻璃材料应用

3.独具一格的表面质量

4.优越的透光性、极低的荧光强度以及极高的紫外线和红外线透过率

5.极低的膨胀系数、抗热冲击性强以及长期工作温度高达450℃

6.极佳的化学稳定性,对水、强酸、强碱以及有机物质的腐蚀有高度耐受性

7.极佳的抗刮花效果、极高的硬度以及密度可比普通钠钙玻璃低20%

8.极低的含碱量可作为一种优良的电绝缘体

9.符合所有要求和工业标准(例如SEMI)的客户指定产品

10.符合ISO 9001:2000所有要求的一体化生产步骤

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典型应用:

  • 微光学
  • MEMS(压力传感器、加速计…)
  • 晶片级封装(图像传感器封装…)
  • 生物工程(微观流体、DNA分析…)
  • PLC晶圆盖板
  • 以及许多其它客户指定应用

玻璃晶圆加技术参数:

a)材料:BOROFLOAT®33、PYREX7740、石英玻璃、康宁E-XG、B270、D262T、AF32
b)标准厚度:0.2mm、0.3mm、0.4mm、0.5mm、0.7mm、1.0mm、1.5mm(厚度公差±0.02mm)
c)标准尺寸:Φ2"、Φ3"、Φ4"、Φ5"、Φ6"、Φ8"、Φ12"(其他尺寸可定制)

d)外观:60/40
e)表面粗糙度(Ra)<1.5nm

f)平行度<0.01mm

g)各棱边倒钝C0.05~0.2mm

h)裂口<0.2mm,不可内裂

i)表面清洁,不得有印记和污点,在洁净工作台下包装,用专用盒子包装。

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玻璃晶圆基本性能:

技术参数:

密度(25℃)

2.23g/cm2

膨胀系数(ISO 7991)

3.25′10-6k-1

透光率

91%

软化点

820℃

短期使用<10h

550℃

长期使用≧10h

450℃

折射率(587.6nm)

1.47140

努氏硬度

480

 


规格参数
包装参数
体积(m²)
产品重量(kg)
代理商供货
退换货规则说明
申请方式

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